电 子 级 水

1 范围

GB/T11446的本部分规定了电子级水的级别、技术指标要求、试验方法和检验规则。

本部分适用于电子和半导体工业用高纯清洗用水。

2 规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。 GB/T11446.3—2013 电子级水测试方法通则

GB/T11446.4—2013 电子级水电阻率的测试方法

GB/T11446.5—2013 电子级水中痕量金属的原子吸收分光光度测试方法

GB/T11446.6—2013 电子级水中二氧化硅的分光光度测试方法

GB/T11446.7—2013 电子级水中痕量阴离子的离子色谱测试方法

GB/T11446.8—2013 电子级水中总有机碳的测试方法

GB/T11446.9—2013 电子级水中微粒的仪器测试方法

GB/T11446.10—2013 电子级水细菌总数的滤膜培养测试方法

3 术语和定义

下列术语和定义适用于本文件。

3.1

电子级水 electronicgradewater

电子和半导体工艺过程中所用的高纯水。

3.2

电阻率 resistivity

在规定温度下,1cm3(正立方体)水溶液两相对面之间测得的电阻值。通常用符号ρ表示,单位为 欧姆厘米(Ω·cm),纯水的理论电阻率为18.3MΩ·cm (25 ℃)。

3.3

全硅 totalsilicon

水中可溶性硅和以二氧化硅胶体状态存在的硅的总量。

3.4

可溶性硅 solublesilicon

以单一分子状态存在于水中的溶解性硅酸盐。

3.5

微粒性物质 granularmatter

除气体以外,以非液态分散在水中,并形成非均相混合物的物质。

1

GB/T11446.1—20133.6

总有机碳 totalorganiccarbon;TOC

水中以各种有机物形式存在的碳的总量。包括易被一般强氧化剂氧化的有机物和需用特殊方法氧 化的有机物。

3.7

吸附 absorption

某些多孔性粒状物质由于表面活性作用而具有吸着某些物质的现象。

3.8

凝聚 coagulation

在源水中加入某种电解质后,水中带有电荷的胶体微粒被电解质中的异种电荷中和,从而使其聚集 成较大颗粒而沉降的现象。

3.9

絮凝 flocculation

水中的微粒在一定条件下相互碰撞而集结为絮状沉淀的现象。絮凝一般是在凝聚作用后缓慢进 行,可除去水中更细的微粒。

3.10

砂滤器 sandfilter

用于盛放不同直径的砂粒,以除去源水中悬浮固体和混浊物的装置。

3.11

活性碳过滤器 activatedcarbonfilter

装有粒状活性碳的过滤器,用于除去水中的可溶性有机物和过量的残余氯。

3.12

离子交换 ionexchange

一种不溶性物质与一种液体之间相互交换离子的可逆过程,该过程中物质并无实质性结构变化。

3.13

离子交换树脂 ion-exchangeresin

一种合成的有机离子交换材料。

3.14

去离子水 deionizedwater

经过离子交换处理,除去了呈离子形式的杂质的高纯水。

3.15

再生 regeneration

离子交换过程操作循环中的一部分。在该部分中,用一定量的化学试剂通过离子交换树脂使其恢 复交换能力。

3.16

复合床 complexbed

将阳离子交换树脂和阴离子交换树脂分别装入两个离子交换柱中,将两柱串联,使水依次通过两个 柱而被纯化。

3.17

混合床 mixedbed

将阳离子交换树脂和阴离子交换树脂混合均匀,填充于同一离子交换柱中,其纯化效果相当于许多 复合床串联使用。

2

GB/T11446.1—20133.18

电渗析 electrodialysis

一种分离水中离子的方法。在电渗析器中,阴阳两极之间用交替排列的阴、阳离子交换膜分隔成一 系列小室。水流通过小室时,在直流电场作用下,水中阳离子向阴极方向移动,但不能通过阳膜;阴离子 则相反。这样就形成相间存在的浓、淡水室而达到提纯水的目的。

3.19

逆向渗透 reverseosmosis

用半透膜将浓水和淡水隔开,并在浓水上施加比渗透压更强的机械压力,则浓水中大部分水透过半 透膜而杂质仍留在其中,达到分离提纯的目的。

3.20

反渗透膜 reverseosmosismembrane

用于反渗透法制备纯水的一种合成薄膜,其孔径一般为0.02μm 或更小,可用于除去无机离子、有 机物、细菌等,使水纯化。

3.21

微孔膜滤器 membranefilter

一种平均孔径(直径)大于0.01μm 的薄膜,能把大于平均孔径的微粒截留在其表面或附近。

3.22

超过滤 ultrafiltration

一种过滤方法,在一定压力下使水流通过超滤膜以除去水中的极细微粒、胶体和细菌等。

3.23

终端 terminal

高纯水生产流程中经过各道净化工艺后,水的出口或使用地点。

3.24

无菌 sterile

不含任何活有机体(不论是活跃的或休眠的)。

3.25

pH

水溶液中氢离子活度的负对数或氢氧根离子活度倒数的负对数。

4 分类和标记

4.1 分类

电子级水分为四个级别:Ⅰ级、Ⅱ级、Ⅲ级和Ⅳ级。

4.2 标记

Ⅰ级电子级水标记为:EW-Ⅰ。 Ⅱ级电子级水标记为:EW-Ⅱ。 Ⅲ级电子级水标记为:EW-Ⅲ。 Ⅳ级电子级水标记为:EW-Ⅳ。

5 要求

电子级水的技术指标应符合表1规定。

3

GB/T11446.1—2013

表 1 电子级水的技术指标

项 目 技术指标

EW-Ⅰ EW-Ⅱ EW-Ⅲ EW-Ⅳ

电阻率(25 ℃)/MΩ·cm ≥18 (5%时间不低于17) ≥15 (5%时间不低于13) ≥12.0 ≥0.5

全硅/(μg/L) ≤2 ≤10 ≤50 ≤1000

微粒数/ (个/L) 0.05μm~0.1μm 0.1μm~0.2μm 0.2μm~0.3μm 0.3μm~0.5μm > 0.5μm 500 300 50 20 4 — — — — — — — — — — — — — — —

细菌个数/(个/mL) ≤0.01 ≤0.1 ≤10 ≤100

铜/(μg/L) ≤0.2 ≤1 ≤2 ≤500

锌/(μg/L) ≤0.2 ≤1 ≤5 ≤500

镍/(μg/L) ≤0.1 ≤1 ≤2 ≤500

钠/(μg/L) ≤0.5 ≤2 ≤5 ≤1000

钾/(μg/L) ≤0.5 ≤2 ≤5 ≤500

铁/(μg/L) ≤0.1 — — —

铅/(μg/L) ≤0.1 — — —

氟/(μg/L) ≤1 — — —

氯/(μg/L) ≤1 ≤1 ≤10 ≤1000

亚硝酸根/(μg/L) ≤1 — — —

溴/(μg/L) ≤1 — — —

硝酸根/(μg/L) ≤1 ≤1 ≤5 ≤500

磷酸根/(μg/L) ≤1 ≤1 ≤5 ≤500

硫酸根/(μg/L) ≤1 ≤1 ≤5 ≤500

总有机碳/(μg/L) ≤20 ≤100 ≤200 ≤1000

6 试验方法

6.1 电阻率

电子级水的电阻率按 GB/T11446.4—2013进行测定。

6.2 全硅含量(以二氧化硅计)

电子级水全硅(以二氧化硅计)含量按 GB/T11446.6—2013进行测定。

4

GB/T11446.1—20136.3 微粒数

电子级水中微粒数按 GB/T11446.9—2013进行测定。

6.4 细菌总数

电子级水中细菌总数按 GB/T11446.10—2013进行测定。

6.5 痕量金属含量

电子级水中痕量金属的含量按 GB/T11446.5—2013进行测定。

6.6 氟离子、氯离子、亚硝酸根离子、溴离子、硝酸根离子、磷酸根离子、硫酸根离子的含量

电子级水中氟离子、氯离子、亚硝酸根离子、溴离子、硝酸根离子、磷酸根离子、硫酸根离子的含量按

GB/T11446.7—2013进行测定。

6.7 总有机碳含量

电子级水中总有机碳含量按 GB/T11446.8—2013进行测定。

7 检验规则

7.1 检验部门

电子级水的检验均应在有资质的检验部门进行。

7.2 检验分类

电子级水的检验分为交收检验和例行检验。

7.3 交收检验

7.3.1 抽验项目

电子级水中电阻率、钠离子、全硅(以二氧化硅计)为交收检验项目。

7.3.2 合格判据

在用水终端采样,检验后检验结果如有一项或一项以上不合格时,应再次采样进行检验,如仍不合 格,则该批不合格,应提出改进措施直到水质合格。

7.4 例行检验(全检项目)

7.4.1 检验项目

检验项目为表1规定的全部项目。检验顺序应以不影响后序试验结果的原则进行检验。

7.4.2 不合格判定

在用水终端采样后进行例行检验,检验结果如有不合格项时,应再次采样进行检验,如仍有不合格 项时,应提出改进措施直到水质合格。

5

GB/T11446.1—20137.4.3 检验频次

例行检验至少每年进行一次,当制水条件发生变更时也应进行例行检验。

8 采样、贮存、运输及标志

8.1 采样、贮存、运输

电子级水的采样、贮存、运输应符合 GB/T11446.3—2013的规定。

8.2 标志

在用水终端采样进行检验时,水质合格后应附有检验合格证,合格证应包含如下内容: a) 名称及级别; b) 各项技术指标; c) 制水单位; d) 供水日期; e) 检验员签章及检验日期。